Turbo Molecular Pump, FF-160 / 620E, Wai meangiti, Hinu hinu
Painga:
1. He pai te mahi i raro i te taiao uaua (te wera nui, te puehu, me etahi atu).
2. Mahinga pumau me te roa o te ratonga mahi
3. Te tiaki ngawari, te mahi watea
Nga tono:
Ko nga papu turbo hinu whakahinuhinu e whakamahia ana i nga waahanga turuturu umanga, PVD, CVD, whakaurunga katote, hanga hiko hiko korehau, karaihe iti-E, karaihe ITO, whakakikorua whaaiti, pūtau solar, hiko hiko hiko, umu korehau me etahi atu umanga.
Whakatakotoranga:
| Flange （I Roto |
DN150 CF / ISO-K |
Max. Te pēhanga Mua-korehau tonu (Pa) |
240 |
| Flange （Atu） KF |
DN40 KF |
Max. Te Whakamahinga Kore-Kore （Pa） |
N2: 350 |
| Tere papu (L / s） |
N2: 600 |
Gas puta noa i te cm sccm） |
N2 ： 1200 |
|
Ia ： 380 |
Ia ： 880 |
||
|
H2 ： 240 |
H2 ： 700 |
||
|
Ar ： 580 |
Ar ： 450 |
||
| Te Whakatautau Whakawhitinga |
N2 ： 109 |
Tere Hurihuri （rpm） |
36000 |
|
Ia ： 105 |
Te Wahanga Whakatika （min） |
≤9 |
|
|
H2 ： 104 |
Momo Ngawari, Paerewa |
Wai / Hau |
|
|
Ar ： 109 |
Te Whakamahinga Wai Wai （L / min） |
≥1 |
|
| Te Taumaha Whakamutunga （Pa) |
CF ： 6 × 10-8 |
Temperature Wai Whakaoho （℃） |
≤25 |
|
ISO-K ： 6 × 10-7 |
Hononga Hiko: Ngaohiko （V AC） |
220 ± 22 |
|
| Tauira Kaiwhakahaere |
TCDP-II |
Max. Mahinga Kaha （W) |
≤500 |
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