Hangarau:
- Hangarau Whakahaere mo te Aukume Aukume: he tuaka e 5-tuaka e whakahekehia ana, i runga i te ariā mana whakahaere o te ao, hei whakamana i nga painga tino nui o te huringa-tere kia pumau, kia pono hoki te whakahaere.
- Hangarau Whakahaere Puku Motuka: He pai-te tere-tere DC nekeneke me te punaha whakahaere servo, he kaha te kaha o te motuka me te utu i te tere hurihuri o te wero aunoa, na te mohio ka tiimata te tiimata, te mahi pono me te whakahaere aunoa i te mahi o te kaha hihiri.
- Hangarau waro hiato hiato: Hangaia e te whakakotahi i te koranu konumohe-kaha kaha me te muka waro marama-iti. he tohu mo te whakaheke nui o te taumaha me te whakapainga nui o te kaha, kia tutuki ai nga taumata o te tere hurihuri nui, te mahinga nui me te pono nui.
- Hangarau aukati ki te aukati: Ko nga waahanga o nga waahanga kei roto i nga ruma ka rongoa me te tikanga motuhake, kia ahei ai nga papa ki te aukati i te waikura na te haehae haehae i nga waahanga hanga semiconductor mo te wa roa. Hei taapiri, ko nga haurangi kore penei i te N2 kua whakakiihia ki te hautanga o nga papu hei tiaki i nga waahanga koretake i roto i nga papu, kia tutuki ai te mahi o nga haurehu haumanu tino roa mo nga wa roa.
- Te punaha whakahaere mahana: rite rawa ki te whakamahana hiko me te kaiwhakahaere o te paemahana, te wai whakamaoatanga, te whakawera-a-hau, te whakawera hiko me te wera e kawehia ana e nga haurehu whakamarumaru ka taea te tirotiro me te whakahaere i te wa e mahi ana, te mahana i nga papu ka taea te pupuri i etahi uara mo te wa roa, etahi haurehu kaore i te hurihia nga matū hei matū totoka i te paemahana noa ka kore e whakatakotoria ki roto i nga papu, ana ka ea nga whakaritenga mo te mahinga motuhake penei i te whakairo.
Nga painga:
He pai nga papu nei, peera i te wero o te Zero i te wa e mahi ana, me te kohi mana iti, ngawari ki te hoko tino maamaa me te korehau ultrahigh kaore he whakahinuhinu mo nga papu, Ka taea te tango i nga haurehu haumanu mo te wa roa, Te haumaru nui me te oranga o te ratonga roa na te whakamarumaru. o nga ahuarangi me nga poipoi uku tino maamaa me te mahi whakaputa kaha mena ka tupono te kaha o te hiko. He ahunga whakamua kei i te kore o te waku, te parahanga me te tiaki me te iti o te wiri, a ka taea te whakauru ki nga waahi katoa.
Nga tono:
Ko te tangohanga o nga haurehu hairiiri kei roto i te etch, CVD, PVD me te katote whakato me nga haurehu e ngawari ana te whakato i te mahana i nga waahi o te hanga semiconductor, te hanga topenga, te whakakikorua i nga umanga me nga taputapu ptaiao, ina koa ki.
Whakatakotoranga:
Tauira |
CXF-250/2301 |
Tere papu (l / s, Air) |
2200 |
Te Whakatautau Whakawhitinga |
> 1 × 107 |
Koreutu Kore (Pa) |
≤2 × 10-7 |
Uru Uru |
DN250 ISO F. |
DN250 CF |
Whakawhanake Hoko |
KF 40 |
Tere Hurihuri (rpm) |
30000 |
Te Wahanga Whakapai (min) |
8 |
VIB (mm) |
<0.05 |
Paipa Paapiri (L / s) |
15 |
Te whakapuru me te huruhuru ranei |
Tetahi |
Tikanga hauhautanga |
Wai |
Taumaha (kg) (Me te Kaiwhakahaere) |
58 |